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无尘车间的测试及验收标准

日期:2020-05-29 07:52

  空气参数的目的—检查无尘车间是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成后的无尘车间检测阶段,还是无尘车间使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议中都详细地制订了和提出了无尘车间空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。

  测试状态的确定:根据设计要求,一般无尘车间都是对无尘车间内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。

  无尘车间和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的最大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。

  空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,无尘车间的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的最大允许浓度确定的。

  在确定实际无尘车间的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

  备注:浓度值Cn应四舍五入,小数点后保留三位,在实际情况下粒子浓度的实际误差是存在的,求不出精度很高的浓度。

  因此,在测试具体的无尘车间的相应洁净度级别时,不需要检测如上表所示的该级别的所有粒子粒径。而只要检测为该种无尘车间给定的粒子粒径。

  在检测无尘车间的洁净度级别时,应测定无尘车间内1点或数点的悬浮粒子浓度(即取样点的粒子浓度)。

  6)将取样数据填入按各种给定粒径统计的粒子统计记录表内(适于采用无计算机软件的粒子计数器的场合下);

  空气单向气流的风速是在垂直于气流方向的平面上并距离风源150-500mm处测得的。

  测试点的数量应大于被测表面面积的平方根,但不得小于3,应在每一个设定的网格中进行测量,测量点应均匀地分布在平面上。

  应在距离过滤器表面150mm处测试过滤器出口处的风速。在评价气流的均匀性时,应在距离过滤器表面300mm以上处测试风速。

  根据在垂直于空气运动方向的平面上各点的风速测试数据,评价单向气流的均匀性,建议该平面应距离过滤器表面(风口)300毫米以上。

  最终过滤器(HEPA,ULPA过滤器)是无尘车间的重要部分。这些过滤器安设在无尘车间的吊顶和墙上,装在设备和风管内。应进行泄漏检查,以控制过滤器的整体性,过滤器的渗漏意味着粒子的渗漏,会超过ГOCTP5125-99。(原文链接:)

  制造商应在厂内对过滤器作最大穿透粒径试验,附过滤器检测报告,现场不做检漏。

  (一般控制)在通风空调系统投产-调试时,以及在无尘车间检测的各个阶段和使用阶段均要进行温度的一般控制。

  规定工作席工作区高度处的温度,以及必要时,其他工作点的温度都要加以控制。

  至少在每一处对相对湿度有要求的区域内设1个点进行相对湿度的测量,为了使传感器持续稳定,测量的持续时间不得少于6分钟。

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