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日期:2020-06-05 18:15

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  湖南纯臻净化工程 洁净室检测大全 洁净室检测之洁净度检测 一、洁净室洁净度说明 洁净度检测是无尘室性能测试的核心,气流测试、压力测试,与泄漏测试,都 只在确认无尘室的洁净度不受外来影响, 因此洁净度测试都放在前述几项测试都 通过之后。洁净度测试完毕,与落尘有关的性能因素就都测试完毕,其它测试对 洁净度影响不大,或是属于其它环境测试。 二、洁净室洁净度检测仪器 洁净度检测使用微粒计数器, 仪器须经校正合格且仍在有效期限内,交附报告 时须附合格之校正文件。微粒计数器有不同规格,最常见的是流量 1cfm ,最小 粒径可测到 0.3mm 或是 0.1mm ,单位多是立方英呎。至于应使用何种设备,要 依业主的规范而定。一般在产业界,多依以下方式选择微粒计数器。 Class 1000 或更高: 0.5μ m Class 100 : 0.3μ m ,0.5um Class 1 到 Class 10 :0.1μ m 若是业主要求的粒径范围超过单一微粒计数器的范围, 则应该使用两部微粒计数 器。目前市面上少见立方公尺的微粒计数器,因此若是无尘室的洁净度是 以 ISO 为基准,则要把结果作换算。单位换算,不影响上限的计算程序。 三、洁净室洁净度检测步骤: (1) 确定空调系统之测试调整与平衡已完成,滤网之风速及泄漏测试均已完成, 并已修换破损部分。 (2) 确认测试位置与测试点数。 (3) 取样时间:每点的取样时间依照等级与粒径不同而异,若取样时间小于一分 钟,则以一分钟为准。 (4) 测试位置应均匀分布在无尘室内,避免在产生大量粒子之附近,且将检测仪 器以适当之架台支撑,不可以手持支撑。 (5) 测量点数以公式计算(与 209E 相同) 。 四、洁净室洁净度检测验收标准: 洁净度的验收基准有二, 首先是每点的微粒测量平均值必须低于规定值。洁净 湖南纯臻净化工程 度的第二个验收基准就是, 任一隔间若需使用信赖度上限分析,则该分析值也必 须小于规定值。 洁净室检测之风速及平衡性测试 一、测试目的 气流是控制洁净度与温湿度的最主要因素,它对噪音也有一些影响。因此风速测 量,都是放在无尘室测试的第一步。风速测量的目的,是确认滤网送出的气流满 足设计规范,其次是确认气流的均匀度。在某些场合可能因现场的限制,室内换 气量还必须用风速乘以出口面积来换算。 单一流向型无尘室,很多都是设计成垂直层流,因此风速均匀度非常重要,只有 均匀的垂直层流,才能有效排除微粒污染。非单一流向型无尘室,由于微粒控制 的观念是稀释,不是立即排除,一般而言其换气量远比风速重要。但是需注明是 滤网风速测量或是无尘室室内风速测量。 二、 使用仪器 洁 净 室 里 面 使 用 的 HEPA/ULPA 滤 网 , 其 送 出 气 流 的 速 度 多 半 都 控 制 在 0.5m/s 以内,因此所使用的风速计必须是低速型。滤网风速测量可使用单点 式风速计如电子式压力计配合皮氏管、热线式风速计。也可以使用多点式风速计 如 Shortridge Velgrid 16 点风速计。轮叶式风速计因使用范围不同,通常不在无 尘 室 内 使 用 。 热 线 式 风 速 计 ( Hot Wire ) 虽 然 高 频 响 应 良 好 , 但 是 低 速 时 〈 0.5m/s 以下 〉 准确性很低,因此不很适用,一般热反应风速计常用的 是 Thermeister 式风速计。转轮式风速计由于本身重量问题,也不适用低速。 检 湖南纯臻净化工程 验仪器须经校正合格,且仍在有效期限内。 三、 测试步骤 (1) 在 图 面 上 记 录 滤 网 尺 寸 、 数 量 并 编 号 。 (2) 取 样 点 位 于 滤 网 下 方 75-150mm 处。 (3) 每一个滤网下,若是使用单点式风速计,则每 1 平方英尺 取一点;若是使用多点式风速计,则每 4 平方英尺取一点。 (4) 每测量点必须 取 5 秒的平均。 (5) 依验收标准分析所有风速,计算平均值、标准差、相对标准 差,并标明不合格测试点。ag视讯厅平台 (6) 记录所有原始数值,以及分析后的数值。重要的 是在非单一流向型无尘室测试时,特别注意取样时风速计不可受到干扰,以免影 响准确度。 四、数据分析 风速测量很简单, 但是均匀度必须由数据分析来判定。均匀度是由相对标准差来 代表,其计算步骤如下。 1. 平均值:2. 标准差 洁净室检测之风量及平衡性测试 一、说明 风量测量的目的通常是用来计算换气量,一般是在非单一流向型无尘室,或是测 量空调系统中各式各样的出风口、回风口、排气口等的风量时使用。只有在无法 使用气罩的场合(气罩体积较大,有时会受限制) ,才能使用风速乘以面积等于 风量的方式,用风速来换算风量。使用风速换算风量时,须注意出风口之有效面 积以及修正系数的取得。在回风口和排气口,使用换算法的准确度非常差,应尽 量避免。同样气罩通常可以测量送风与回风,正值代表送风,负值代表回风或排 气。须注意的是反向测量时,其测量范围通常会降低。 二、测试仪器 风 量 测 量 应 当 使 用 气 罩 ( Flow Measuring Hood ) ,气罩的测量范围 是 15~2500 cfm ,精确度要求为读数的 ±3% 。由于气罩本身会产生压损,因此 其形状很重要,应尽量使用原厂气罩。若有必要自行制造罩子,应注意气流顺畅 并且做详细比对。气罩的校正非常重要,必须主机连同罩子一起校正,才能得到 准确校正值。 检验时必须使用校正合格且仍在有效期限的仪器,于正式检测前及 缴交报告时均须检附合格之校正文件。 三、测试步骤: (1) 在图面上记录滤网尺寸、 数量并编号。(2) 使用恰当尺寸气罩将出风口完全 罩住,然后测量与计录。 (3) 依验收标准分析所有风量,计算平均值、标准差、 相对标准差,并标明不合格测试点。 (4) 记录所有原始数值,以及分析后的数 值。 湖南纯臻净化工程 四、 数据分析: 风量均匀度的计算与风速向同,都是由相对标准差来代表,其计算步骤如下。 1. 平均值: 将所有风测量量值取算数平均 准差 2. 标准差:计算所有风测量量值的标 洁净室检测之压差测试 一、 说明 压力测量的目的是确认无尘室空调系统的压力设定。 无尘室内维持相当的正压以 维持洁净度,这已经是个 common sense ,在 209 的旧版本中,正压有建议值, 但是后来就取消了。目前常见的正压值约是 10 到 25 Pascal 之间。ag视讯厅平台,压力测量的时 机,应该是在风速、风量、平行度等与气流直接相关的测试结束之后立即测量, 尤其不可在洁净度测量完毕之后才测量压力。因为如果压力不对,要立刻调整以 免影响洁净度。 测量时, 所有门窗都必须关上, 所有的风扇也必须维持正常运转。 二、测试仪器 压力测量可使用倾斜管压力计,指针式压力计,或是电子式压力计,总之只要 测量范围与精确度满足要求即可。压力计之精确度要求为读数的 ±5% ,测量范 围式压力设计值而定,一般 0~5mm Aq ( 0–50 Pascal )即可涵盖室内外压力差 之测量。 仪器需经校正合格且仍在有效期限内之才可以使用,检测前及交附报告 时均须检附合格之校正文件。 三、测试步骤 1. 必须在风速、风量、气流等测试完成后,才能测试压力,并且排气与 MAU 要 湖南纯臻净化工程 完全正常运转。 2. 全部门与开口都要关闭。室外大气压力假设为 0.0mmAq 表压力。 3. 测定洁净区域与相邻较次级洁净区域之压差, 再测量房间与 Gowning room 之 间压差,最后测量 Gowning room 与外部之压差。 4. 建议压差值为 5~12Pa ,并无强制规定。 5. 记录所有数值。 洁净室洁净度之温湿度检测 一、说明 温湿度测量的目的是确认室内之温湿度控制在范围之内, 温湿度对微粒控制没有 甚么影响,因此温湿度测试属于第三级测试( Level 3 ) 。但是因无尘室多半同时 也是环控室, 所以温湿度常常就一并测量了。温湿度测量又分为一般测量和进阶 测量( General Tests and Comprehensive Tests ) ,一般测量只是测量温湿度在测量 点的实时数据(单一测数据) ,适用在对温湿度要求不高的场所。进阶测量就要 纪录在测量点一段长时间的温湿度,目的是要观察温湿度随时间的变化情形,以 确认湿度在控制之下。进阶测量适用在对温湿度要求比较高的场所。 二、测试仪器: 常见的温湿度仪器是电子式温度计与镜面冷凝光学式湿度计, 一般测量和进阶测 量使用仪器的精度相同,温度测量范围是 0-100 ℃ ,精确是 ±0.2 ℃ 。湿度测量 范围是 10 ﹪ 到 95 ﹪ ,精确度是 ± 2 ﹪ 。一般测量要求温度之显示值可显 示 0.1 ℃ 的变化,湿度的显示值可显示 1 ﹪ 的变化。进阶测量则要求温度之显 示值可显示 0.05 ℃ 的变化,湿的显示值可显示 0.1 ﹪ 的变化。检测仪器需校正 合格且仍在有效期限内者,于测试前或交附报告时均须检附合格之校正文件。 三、测试程序: 1. 确认空调系统已经安装完成,并已完成测试、调整、平衡。空调系统测试、调 整、平衡可以平衡风量和水量,使其达到设计要求,为温湿控制提供正确的运转 环境,因此系统要先平衡才能测试。 2. 依据平面图,列出各种温湿度要求区域,并使系统达到正常运转状况,系统应 在温湿度自动控制之下,至少运转 24 小时以上。 3. 测试点数为每个房间至少量一点,并且每个温湿度控制区至少量一点,例如每 个 Dry Coil 的控制范围要量一点,测量高度为 ( 高架 ) 地板上 1.00m 。 4. 将温湿度传感器放置同一位置,待稳定后开始记录。 洁净室检测之光照度测试 一、测前准备 1.洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成 2.测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡,并已连续运转 24 小时以上。 湖南纯臻净化工程 3.洁净室环境需清洁完成 二、测试目的 此检测动作在于确认无尘室照明系统是否有达到设计要求。 三、测试仪器 专业照度仪 四、测试步骤 1. 无尘室光源至少使用 100 小时以上,测试前需点亮 2 小时以上。 2.确认测试点及配置图编号。 3.将照度仪固定置于距离地板上 1.2m 高度,待数值稳定后量测 10 秒记录。 洁净室检测之噪音度测试 一、检测准备 1.竣工图面(初版)与相关规范确认 2.洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成。 3.测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡,并已连续运转 24 小时以上。 4.洁净室环境需清洁完成。 二、测试目的 此检测动作在于确认无尘室噪音是否有达到设计要求。 三、测试仪器 专业噪音仪 四、测试位置 每 40m2 取 1 点为量测点,另针对业主要求局部增加测试点数。 五、测试步骤: a.无尘室所有空调设备及公用设备均为运转状态。 b.确认测试点及配置图编号。 c.将照度仪固定置于距离地板上 1.2m 高度,高度量测 10 秒后记录最大值。 洁净室检测之气流流向检测 一、 测试目的 平行度测量的目的,是观察在工作区域里面气流的运动模式,同时也可以观察 仪器设备对气流的影响。 平行度测量应该在气流的风速与均匀度都测试完毕且通 过之后进行,过早进行可能得不到正确的数据。 二、 测试方法 湖南纯臻净化工程 一般而言平行度的测量,是由肉眼观察所决定。使用的工具包括烟雾、水 雾、 PFA 、和轻质棉线。 。烟雾或水雾的共同优点是只要粒子够小,烟雾可随风 飘扬,可正确的反映气流运动模式。但是其共同问题是滞空性不足,观测时间太 短。测量平行度需要花一些时间,因此需要大量烟雾或水雾,对无尘室可能造成 污染。另一种方式是使用轻质细线,让细线随风飘舞,然后测量气流平行度。在 无尘室内普遍使用新的高分子材料 Flo-Viz ,是用尼龙抽成单丝所制成,由于质 量很轻因此适合作无尘室平行度测量。测量平行度的方法是立一根铅垂线,然后 在滤网下方施放烟雾或是安放细线,之后观察所施放烟雾与铅垂线的夹角,或是 测量细线与铅垂线的夹角,就可决定气流的平行度。 三、测试仪器 1. 支架 2. 铅垂线.Flo-Viz 细线 .气流流向检测仪 四、测试步骤 1. 用支架设立垂线. 将细线在室内悬吊,使其自然下垂,细线会随空气流向飘移。 计算偏移 角 =tan-1( 悬吊线 点。 若是使用烟雾, 其方式很类似, 就是在滤网下施放烟雾,然后将铅垂线的上端点移动到与烟雾相 接触,将红线当成烟雾,再计算夹角就可以了。 洁净室检测之静电检测 一、测试目的 静电问题不是只有半导体业才有,其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有 静电, 就会变成非常难处理的问题, 因为传输变的很不容易。 另外在无尘室里面, 若是物体表面带有静电, 就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空 气中正离子与负离子的含量,依此数据可仿真物体在该气流场中之残余表面电 压。 二、 测试程序 1.于无尘室内离地 32 英吋 (813 mm) 处,测量该位置之空气中正离子与负离子的 含量,单位是每立方厘米离子数。测量点数: 10 个,或由业主自己决定。 2. 在同一位置做残余电压测试。